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a.100X100X2£3mm£»b.75X75X2—3mm£»c.63X63X2—3(Ñ¡¹º)£»
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φ35—75mm
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3-4μm, ×îϸ¿É´ï2μm
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X/Y±2.5mm,(×åת) ±6°
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X,YºÏ³Éφ75mm
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0—7.5mm
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GCQ200W³¬¸ßѹ¹¯µÆ£¬ÆØ¹â²¨³¤£¬300¨D436nm
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7mw
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ÆØ¹âϵͳµÄÕնȾùÔȶÈÔÚφ75mm·¶Î§ÄÚ
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±5£¥
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≈545nm
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0.1Ãë—99·Ö
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˫ĿÏÔ΢¾µµÄ·Å´ó±¶Êý
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a.Ä¿¾µ¹²¶þÖÖ:10X,16X£»b.ƽÊÓ³¡Îï¾µ¹²ÈýÖÖ:6X,9X,15X£»c.ºÏ³É·Å´ó±¶ÂÊ:60X—240X£»
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≥0.7kgf
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1000X850X980mm(2Ö»)
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200kg
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