“十二五规划”即将到期 LED设备国产化提速【按键测试仪】
《半导体照明科技发展“十二五”专项规划》曾明确提出,“十二五”期间将“实现大型MOCVD 设备及关键配套材料的国产化”。 “十二五规划”在2015 年即将到期,LED设备国产化的目标正在加速实现。
目前从蓝宝石材料开始,一直到PSS、外延、芯片端,再到最后的减薄等工艺,国产设备已经能够一部分地取代进口设备。我国LED 专用设备、仪器和材料配套能力正在逐步形成。
自主创新的金属有机源(MO 源)实现大规模应用,占国内市场的60%以上;蓝宝石衬底材料可满足国内市场需求的50%以上, 2013 年和2014 年电子发展基金项目支持的MOCVD等国产设备相继进入芯片生产线试用,从目前情况来看,进展顺利。
同时,多种LED生产专用设备和多种光、电、色、热性能检测仪器等已经用于LED生产线,运行稳定。经过十余年的努力,国内设备生产企业在部分领域取得了突破,获得了较高的市场份额。但是还有很多环节的市场主要被国外企业占据。
目前国内多家企业生产的MOCVD设备被有多家外延芯片企业试用,而其他设备如研磨机、清洗机、甩干机、蒸镀机、裂片机、点测机、分拣机等,市场上虽有部分国产设备,但一般都很难超过30%的份额。主要阻碍来源于技术方面,研发成本较高、研发周期较长、技术更新快之外,市场推广也很难。
国产设备没有量产的检验及反馈后的改进,因此在稳定性上略有不足。但是总的来说,国产设备的出现带来了一系列优异的本地化服务,直接影响到了进口设备厂商的产品价格和服务态度。
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