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²ÎÊýÀàÐÍ | T8W |
оƬÌù×°·¶Î§ | 0.15¡«50mm£¬¸ü»»ÎüÍ· |
µã½º»úÊýÁ¿ | ≥2¸ö |
X/YÖáÐÐ³Ì | 650*650mm |
±àÂëÆ÷ | 50nm or20μm fμndamental |
X/YÖá·Ö±æÂÊ | 20nm |
ÌùƬËÙ¶È | 4500UPH |
µ¹×°Æ¬Ìù×°ËÙ¶È | 1000-1500UPH |
¶¨Î»¾«¶È | +/-1μm |
ÖØ¸´¶¨Î»¾«¶È | +/-0.3μm |
Ö±Ïß¶È | +/-1μm |
Æ½Ãæ¶È | +/-1.5μm |
Ìù×°¾«¶È | <3μmÕæÊµ¾¶Ïò¶¨Î»£¨È¡¾öÓÚÓ¦Óã© |
Ìù×°ÖØ¸´¾«¶È | ±1μm@3sigma |
×î´óËÙ¶È | 1000mm/s»ò40Ó¢´ç/Ãë |
×î´ó¼ÓËÙ¶È | 2G |
ZÖáÌù·Å | ¸ù¾ÝѹÁ¦»ò¸ß¶ÈÌù·Å |
ѹÁ¦¿ØÖÆ | ͨ¹ýʵʱ·´À¡¿ØÖƶÔÿ´ÎÌù·Å½øÐбà³Ì£¬Ñ¹Á¦·¶Î§10¿ËÖÁ2000¿Ë |
ZÖáÐг̺ͷֱæ¶È | 45mm/0.1um |
RÖáÌù×°ÖØ¸´¾«¶È | 0.1°@3sigma |
ÌùƬͷRÖáÐýת½Ç¶È | ≥360° |
RÖᾫ¶È·Ö±æ¶È | 0.01° |
ÔØÎį̈ˮƽ¶È | ≤±0.1mm |
×Ô¶¯Ð£×¼ | ¾ß±¸Èýά×Ô¶¯Ð£×¼ |
Ô˶¯Æ½Ì¨ | ¸ß¾«ÃÜÆø¸¡Ê½ÊµÐÄ»¨¸ÚÑÒÆ½Ì¨£¬ÎÞÐü±ÛÁã¼þ |
Ô˶¯ÏµÍ³ | ²ÉÓýø¿ÚÔ˶¯¿ØÖÆ¿¨ºÍ±àÂëÆ÷ |
ÖØÁ¿ | 1500kg |
ÍâÐÎÌå»ý | 1880£¨L)×1400(W)×1380(H)£¨²»º¬µØ½Å¸ß¶È£© |
ÉÏһƪ£ºÑз¢´òÑùרÓÃÊÓ¾õÌùƬ»ú--T3 ¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡¡ÏÂһƪ£ºÔÚÏßʽÁùÍ·¸ßËÙÊÓ¾õÌùƬ»ú--M6PLUS
±¾Ò³¹Ø¼ü´Ê£ºÌùƬ»ú,ÑÇ΢Ã×ճƬ»ú,µ¹×°ÌùƬ»ú,È«×Ô¶¯ÌùƬ»ú
Ïà¹Ø²úÆ·